EMLC 2009
25th European Mask and Lithography Conference, Lectures held at the GMM Conference January 12-15, 2009 in Dresden, Germany
Seiten
2009
|
1., Auflage
VDE VERLAG (Hersteller)
978-3-8007-3154-1 (ISBN)
VDE VERLAG (Hersteller)
978-3-8007-3154-1 (ISBN)
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- 59
| Reihe/Serie | GMM-Fachbericht ; 59 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Gewicht | 56 g |
| Einbandart | Jewelcase |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | CD-ROM, DVD-ROM / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • EMC • EMLC • Lithography • Mask |
| ISBN-10 | 3-8007-3154-1 / 3800731541 |
| ISBN-13 | 978-3-8007-3154-1 / 9783800731541 |
| Zustand | Neuware |
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