- Offers numerous academic and industrial examples of resonant MEMS
- Provides an analytic model of device behaviour
- Explains two-port systems in detail
- Devotes ample space to excitation and signal detection methods
- Covers issues of damping and noise for resonant MEMS, two topics of particular importance for high-Q devices
This book discusses the main issues of fabrication and design, and applications of micromachined resonant devices, including techniques commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). Concepts of resonance are introduced, with an overview of fabrication techniques for micromachined devices - important to understand as design options will depend on how the device will be fabricated. Also explained: excitation and signal detection methods; an analytic model of device behavior (a valuable design tool); numerical simulation techniques; issues of damping and noise for resonant MEMS; electronic interfacing; packaging issues; and numerous examples of resonant MEMS from academia and industry. Offers numerous academic and industrial examples of resonant MEMS Provides an analytic model of device behaviour Explains two-port systems in detail Devotes ample space to excitation and signal detection methods Covers issues of damping and noise for resonant MEMS, two topics of particular importance for high-Q devices
| Erscheint lt. Verlag | 20.10.2008 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Sachbuch/Ratgeber |
| Technik ► Bauwesen | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-8155-1971-0 / 0815519710 |
| ISBN-13 | 978-0-8155-1971-3 / 9780815519713 |
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