Advances in Imaging and Electron Physics (eBook)
264 Seiten
Elsevier Science (Verlag)
978-0-08-046535-7 (ISBN)
Advances in Imaging and Electron Physics merges two long-running serials-Advances in Electronics and Electron Physics and Advances in Optical and Electron Microscopy. This series features extended articles on the physics of electron devices (especially semiconductor devices), particle optics at high and low energies, microlithography, image science and digital image processing, electromagnetic wave propagation, electron microscopy, and the computing methods used in all these domains.
Cover Page 1
Contents 6
Preface 8
Future Contributions 10
Foreword 16
Chapter 1: Electron-Beam-Induced Nanometer-Scale Deposition 17
I. Introduction 19
II. Electron-Beam-Induced Deposition: A Literature Survey 19
III. The Theory of EBID Spatial Resolution 103
IV. The Role of Secondary Electrons in EBID 180
V. Delocalization Effects in EBID 208
VI. Conclusions 234
Acknowledgments 235
References 235
Index 253
| Erscheint lt. Verlag | 29.7.2011 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Sachbuch/Ratgeber |
| Mathematik / Informatik ► Informatik ► Datenbanken | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Elektrodynamik | |
| Technik ► Bauwesen | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-08-046535-8 / 0080465358 |
| ISBN-13 | 978-0-08-046535-7 / 9780080465357 |
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