Einführung in die Mikrosystemtechnik
Grundlagen und Praxisbeispiele
Seiten
2000
|
1., Aufl.
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-528-03891-5 (ISBN)
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-528-03891-5 (ISBN)
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Basistechnologien: Reinraumtechnologie - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik - Dünnschichttechnologie - Lithographie - Planare Mikrostrukturierung - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Grundstrukturen und Anwendungen - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme - Übungen
Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden. Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz.
| Reihe/Serie | Studium Technik |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 170 x 240 mm |
| Gewicht | 698 g |
| Einbandart | Paperback |
| Schlagworte | Dünnschichttechnologie • Mikrostrukturierung • Mikrosystemtechnik |
| ISBN-10 | 3-528-03891-8 / 3528038918 |
| ISBN-13 | 978-3-528-03891-5 / 9783528038915 |
| Zustand | Neuware |
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