Film Deposition by Plasma Techniques
Seiten
1992
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-54057-1 (ISBN)
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-54057-1 (ISBN)
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Describing the technology and applications of thin-film deposition by plasma techniques, this text examines the foundations of plasma science, as well as specific methods: sputter deposition, ion plating, plasma enhanced chemical vapour deposition, plasma polymerization and surface treatments.
| Reihe/Serie | Springer Series on Atoms and Plasmas ; Vol.10 |
|---|---|
| Zusatzinfo | 185 figs., 30 tabs. |
| Sprache | englisch |
| Gewicht | 466 g |
| Einbandart | gebunden |
| Schlagworte | Plasmatechnik • Springer Series on Atoms and Plasmas; Vol 10 |
| ISBN-10 | 3-540-54057-1 / 3540540571 |
| ISBN-13 | 978-3-540-54057-1 / 9783540540571 |
| Zustand | Neuware |
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