Handbuch energiesparende Halbleiterbauelemente – Hochintegrierte Chips (eBook)
XIII, 566 Seiten
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-658-39346-5 (ISBN)
Prof. Dr. Hartmut Frey war Entwicklungsleiter bei Leybold-Heraeus GmbH. Danach hat er den Bereich Technik der Dualen Hochschule als Fachbereichsleiter für Kerntechnik in Baden aufgebaut. Er hat über 200 wissenschaftliche Artikel veröffentlicht und hält 21 Patente. Er ist korrespondierender Professor an der Universitäten Tomsk und Sofia.
Univ.-Prof. Dr.-Ing. Engelbert Westkämper ist Professor für Produktionstechnik und Fabrikbetrieb, ehemaliger Leiter des Fraunhofer-Instituts für Produktionstechnik und Automatisierung und von 1995 bis 2011 Inhaber des Lehrstuhls und Direktor des Instituts für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart.
Bernd Hintze ist Technologiepark-Manager für Silizium-basierte Technologien der Forschungsfabrik Mikroelektronik im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik.
Erscheint lt. Verlag | 27.11.2023 |
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Zusatzinfo | XIII, 566 S. 449 Abb., 194 Abb. in Farbe. |
Sprache | deutsch |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik |
Sozialwissenschaften ► Politik / Verwaltung ► Staat / Verwaltung | |
Technik ► Bauwesen | |
Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
Schlagworte | chips • Energiesparende Halbleiterbauelemente • Energieverbrauch • Energieverbrauch Halbleiterbauelemente • Fertigungstechnologien • gasphasenabscheidung • Halbleiter • Rechenzentren • Smart Grid • Umweltaspekte Halbleiterfertigung • Verfahrenstechnik • Wafer |
ISBN-10 | 3-658-39346-7 / 3658393467 |
ISBN-13 | 978-3-658-39346-5 / 9783658393465 |
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