Nanofabrication (eBook)

Nanolithography techniques and their applications

eBook Download: EPUB

2020
350 Seiten
Institute of Physics Publishing (Verlag)
978-0-7503-2608-7 (ISBN)

A comprehensive edited volume on important and up-to-date nanolithography techniques and applications. Ideally suited for Master/PhD students who need a basic understanding of nanolithography techniques and their applications. The book also contains state-of-the-art information for researchers needing to expand their knowledge of nanofabrication.

Erscheint lt. Verlag	11.12.2020
Reihe/Serie	IOP ebooks
Reihe/Serie	ISSN
Co-Autor	Francesc Perez Murano, José Ignacio Martín, Vito Clericò, Mario Amado, Enrique Diez, Javier Pablo-Navarro, César Magén, Soraya Sangiao, Pablo Orús, Rosa Córdoba, Ricardo García, Isabel Rodríguez, Jaime Hernández, Guillermo Villanueva, Oscar Vázquez Mena, Ding Zhao, Min Qiu, Anpan Han, Edoardo Albisetti, Daniela Petti, Riccardo Bertacco, Elisa Riedo, Claire Donnelly, Dédalo Sanz-Hernández, Lucas Perez Garcia, Amalio Fernández-Pacheco, Andrei Fedorov, Songkil Kim
Zusatzinfo	With figures in colour and black and white
Verlagsort	Bristol
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften
Schlagworte	3D nanopatterning • Directed Self Assembly • Electrical nanocontacts • Electron Beam Lithography • Focused Electron Beam Induced Deposition • Focused Ion Beam • Ice lithography • Magnetic nanopatterning • Nanodevice • Nanofabrication • nanoimprinting • nanolithography • nano-optics • Nanopatterning • Nanosensor • optical lithography • Patterning of 2D materials • scanning probe lithography • smart surfaces • stencil lithography
ISBN-10	0-7503-2608-5 / 0750326085
ISBN-13	978-0-7503-2608-7 / 9780750326087

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