Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Dissertation
Seiten
2001
Wirtschaftsverlag N. W. Verlag für neue Wissenschaft
978-3-89701-698-9 (ISBN)
Wirtschaftsverlag N. W. Verlag für neue Wissenschaft
978-3-89701-698-9 (ISBN)
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Es wird die Prototypenentwicklung eines Mikrotasters für die dreidimensionale dimensionelle Metrologie an Komponenten der Mikrosystemtechnik beschrieben.
| Reihe/Serie | PTB-Berichte. Fertigungsmesstechnik (F) ; 41 |
|---|---|
| Zusatzinfo | 79 Abb., 8 Tab. |
| Verlagsort | Bremerhaven |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 210 x 297 mm |
| Gewicht | 392 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Allgemeines / Lexika |
| Schlagworte | Fertigungsmeßtechnik • HC/Physik, Astronomie/Allgemeines, Lexika • Mikrostruktur • Mikrostrukturen • Optische Messtechnik • PTB |
| ISBN-10 | 3-89701-698-2 / 3897016982 |
| ISBN-13 | 978-3-89701-698-9 / 9783897016989 |
| Zustand | Neuware |
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