Glow-Discharge Hydrogenated Amorphous Silicon - K. Tanaka

Glow-Discharge Hydrogenated Amorphous Silicon

(Autor)

Buch | Hardcover
277 Seiten
1989
Springer (Verlag)
978-0-7923-0309-1 (ISBN)
320,99 inkl. MwSt
A graduate-level description of recent Japanese research on the chemistry of amorphous silicon film deposition associated with plasma CVD, a step in producing amorphous semiconductors. Reports on studies (of microscopic processes of gas-phase reaction as well as chemical reactions on the film growin
Erscheint lt. Verlag 30.11.1989
Reihe/Serie Advances in Solid State Technology ; 4
Zusatzinfo X, 277 p.
Verlagsort Dordrecht
Sprache englisch
Maße 156 x 234 mm
Themenwelt Naturwissenschaften Physik / Astronomie Atom- / Kern- / Molekularphysik
Naturwissenschaften Physik / Astronomie Festkörperphysik
Naturwissenschaften Physik / Astronomie Thermodynamik
ISBN-10 0-7923-0309-1 / 0792303091
ISBN-13 978-0-7923-0309-1 / 9780792303091
Zustand Neuware
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