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Handbook of Thin Film Process Technology (eBook)

98/1 Reactive Sputtering

David A Glocker (Autor)

eBook Download: EPUB

2018
90 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-1-351-08968-5 (ISBN)

The Handbook of Thin Film Process Technology is a practical handbook for the thin film scientist, engineer and technician. This handbook is regularly updated with new material, and this volume is a special issue on reactive sputtering which will be of interest to a wide range of industrial and academic researchers in addition to owners of the main Handbook. Some recent developments in the reactive sputtering field are covered, including unbalanced magnetron sputtering and pulsed reactive sputtering. The articles contain a wealth of practical information relating to applications, practice and manufacturing techniques.

Erscheint lt. Verlag	18.1.2018
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Biologie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	1-351-08968-4 / 1351089684
ISBN-13	978-1-351-08968-5 / 9781351089685

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