Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines TES-Bolometers für die THz-Metrologie

Opt-77: M. Kehrt:
Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines TES-Bolometers für die THz-Metrologie
126 S., 62 Abb., 4 Tab., ISBN 978-3-95606-280-3, 2016 € 18,50
Es wir die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines vollständigen lithographisch hergestellten TES-Bolometers für den Spektralbereich von 0,1 THz bis 3 THz beschrieben. Bei der Realisierung kamen Si3-N4-Membrantechnologie, mikrostrukturierte Metallabsorber und SQUID-basierte Ausleseelektronik zum Einsatz. Ziel der Entwicklung war die Herstellung eines Prototypen mit hohen Anforderungen an dessen spektral homogene Absorption und lineares Antwortverhalten über eines hohen Dynamikbereich.