Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundlkörpern

F-56: F. Schmaljohann:
Geputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern
140 S., 45 Abb., 14 Tab., ISBN 978-3-95606-233-9, 2015 € 19,00
In der vorliegenden Arbeit wurden Untersuchungen an elektrisch isolierenden Schichten durchgeführt, welche mittels Magnetronsputterns auf Metallen aufgebracht wurden. Diese Schichten sollen geeignet sein um für Dünnschichtsensorik als Trennschicht zwischen der elektrisch leitfähigen Sensorschicht und dem Substrat zu dienen. Zielstellung der Arbeit ist daher eine für den beschriebenen Einsatzzweck hinreichende elektrische Isolation sowie eine gute Haftung zu erzielen, bei einer gleichzeitig möglichst geringen Schichtdicke, um den Einfluss auf das Messergebnis der Sensoren zu minimieren.