Laser Chemical Processing for Microelectronics
Seiten
1989
Cambridge University Press (Verlag)
978-0-521-32254-6 (ISBN)
Cambridge University Press (Verlag)
978-0-521-32254-6 (ISBN)
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This book describes the application of laser processing techniques in the fabrication of semiconductor materials and devices for the microelectronics industry. It comprises a collection of reviews of interest to those involved with a semiconductor fabrication facility.
| Erscheint lt. Verlag | 26.1.1989 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Cambridge Studies in Modern Optics |
| Verlagsort | Cambridge |
| Sprache | englisch |
| Maße | 155 x 234 mm |
| Gewicht | 398 g |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik |
| ISBN-10 | 0-521-32254-5 / 0521322545 |
| ISBN-13 | 978-0-521-32254-6 / 9780521322546 |
| Zustand | Neuware |
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