Extreme Ultraviolet Lithography (eBook)
Seiten
2009
McGraw-Hill Professional Publishing (Hersteller)
978-0-07-162970-6 (ISBN)
McGraw-Hill Professional Publishing (Hersteller)
978-0-07-162970-6 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 15.4.2009 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 0-07-162970-X / 007162970X |
| ISBN-13 | 978-0-07-162970-6 / 9780071629706 |
| Zustand | Neuware |
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