Handbook of Sputter Deposition Technology
Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and Mems
Seiten
2014
|
2nd Revised ed.
William Andrew Publishing (Hersteller)
978-1-4377-3484-3 (ISBN)
William Andrew Publishing (Hersteller)
978-1-4377-3484-3 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 14.5.2014 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 1-4377-3484-7 / 1437734847 |
| ISBN-13 | 978-1-4377-3484-3 / 9781437734843 |
| Zustand | Neuware |
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