Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces X
Seiten
2012
|
1., Aufl.
Trans Tech (Verlag)
978-3-03785-388-7 (ISBN)
Trans Tech (Verlag)
978-3-03785-388-7 (ISBN)
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| Reihe/Serie | Solid State Phenomena ; 187 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Maße | 170 x 245 mm |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie |
| Schlagworte | Engineering • Werkstoffe |
| ISBN-10 | 3-03785-388-3 / 3037853883 |
| ISBN-13 | 978-3-03785-388-7 / 9783037853887 |
| Zustand | Neuware |
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