Electroceramic-Based MEMS (eBook)
XII, 414 Seiten
Springer US (Verlag)
978-0-387-23319-2 (ISBN)
Applications and Devices.- MEMS-Based Thin Film and Resonant Chemical Sensors.- Microactuators Based on Thin Films.- Micromachined Ultrasonic Transducers and Acoustic Sensors Based on Piezoelectric Thin Films.- Thick-Film Piezoelectric and Magnetostrictive Devices.- Micromachined Infrared Detectors Based on Pyroelectric Thin Films.- RF Bulk Acoustic Wave Resonators and Filters.- High Frequency Tuneable Devices Based on Thin Ferroelectric Films.- MEMS for Optical Functionality.- Materials, Fabrication-Technology, and Functionality.- Ceramic Thick Films for MEMS.- Thin Film Piezoelectrics for MEMS.- Science and Technology of High Dielectric Constant Thin Films and Materials Integration for Application to High Frequency Devices.- Permittivity, Tunability and Loss in Ferroelectrics for Reconfigurable High Frequency Electronics.- Microfabrication of Piezoelectric MEMS.- Non-Conventional Micro- and Nanopatterning Techniques for Electroceramics.- Low-Cost Patterning of Ceramic Thin Films.
Erscheint lt. Verlag | 30.3.2006 |
---|---|
Reihe/Serie | Electronic Materials: Science & Technology | Electronic Materials: Science & Technology |
Zusatzinfo | XII, 414 p. |
Verlagsort | New York |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Astronomie / Astrophysik |
Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
Technik ► Maschinenbau | |
Schlagworte | Ceramics • Communication • Electronics • Ferroelectrics • microelectromechanical system (MEMS) • Sensor • Thin film |
ISBN-10 | 0-387-23319-9 / 0387233199 |
ISBN-13 | 978-0-387-23319-2 / 9780387233192 |
Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
![PDF](/img/icon_pdf_big.jpg)
Größe: 8,0 MB
DRM: Digitales Wasserzeichen
Dieses eBook enthält ein digitales Wasserzeichen und ist damit für Sie personalisiert. Bei einer missbräuchlichen Weitergabe des eBooks an Dritte ist eine Rückverfolgung an die Quelle möglich.
Dateiformat: PDF (Portable Document Format)
Mit einem festen Seitenlayout eignet sich die PDF besonders für Fachbücher mit Spalten, Tabellen und Abbildungen. Eine PDF kann auf fast allen Geräten angezeigt werden, ist aber für kleine Displays (Smartphone, eReader) nur eingeschränkt geeignet.
Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen dafür einen PDF-Viewer - z.B. den Adobe Reader oder Adobe Digital Editions.
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen dafür einen PDF-Viewer - z.B. die kostenlose Adobe Digital Editions-App.
Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.
aus dem Bereich