Lpcvd Silicon Nitride and Oxynitride Films
Material and Applications in Integrated Circuit Technology
Seiten
1991
Springer (Verlag)
978-0-387-53954-6 (ISBN)
Springer (Verlag)
978-0-387-53954-6 (ISBN)
| Erscheint lt. Verlag | 1.7.1991 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Lecture Notes in Computer Science ; 1 |
| Mitarbeit |
Sonstige Mitarbeit: F H P M Habraken |
| Zusatzinfo | Illustrations, unspecified |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Anorganische Chemie |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 0-387-53954-9 / 0387539549 |
| ISBN-13 | 978-0-387-53954-6 / 9780387539546 |
| Zustand | Neuware |
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