Meß- und Prüftechnik

1 Einleitung.- Literatur zu Kapitel 1.- 2 Analoge integrierte Schaltungen.- 2.1 Informationsgehalt von Datenblättern.- 2.2 Allgemeine Messungen.- 2.3 Typenbezogene Messungen.- 2.4 Prüfstrategien und Prüfmittel.- 2.5 Literatur zu Kapitel 2.- 3 Testen digitaler integrierter Schaltungen.- 3.1 Einleitung.- 3.2 Fehlerursachen und Fehlermodelle.- 3.3 Testmustererzeugung.- 3.4 Testfreundlicher Entwurf.- 3.5 Testen digitaler Speicher.- 3.6 Testautomaten.- 3.7 Literatur zu Kapitel 3.- 4 Zuverlässigkeit integrierter Schaltungen.- 4.1 Zuverlässigkeitsbegriffe und statistische Beschreibungsweisen.- 4.2 Ausfallmechanismen und ihre Aktivierbarkeit durch Belastung.- 4.3 Reale Zuverlässigkeit.- 4.4 Maßnahmen der Zuverlässigkeitssicherung.- 4.5 Maßzahlen der Zuverlässigkeit.- 4.6 Literatur zu Kapitel 4.- 5 Elektronenstrahl-Potentialmeßtechnik.- 5.1 Einführung.- 5.2 Qualitative Verfahren.- 5.3 Quantitative Verfahren.- 5.4 Meßbedingungen.- 5.5 Geräte.- 5.6 Anwendungen.- 5.7 Literatur zu Kapitel 5.- 6 Prüfen von Halbleiterbauelementen mittels elektroneninduziertem Strom (EBIC).- 6.1 Einführung.- 6.2 Grundlagen.- 6.3 Versuchsbedingungen.- 6.4 Anwendungen.- 6.5 Literatur zu Kapitel 6.- 7 Leistungshalbleiterbauelemente.- 7.1 Übersicht.- 7.2 Typische Probleme der Meßtechnik für Leistungshalbleiterbauelemente.- 7.3 Typische Meßmethoden.- 7.4 Beschreibung eines Meßplatzes.- 7.5 Literatur zu Kapitel 7.- 8 Optoelektronische Bauelemente.- 8.1 Einführung.- 8.2 Lichtmessung.- 8.3 Messungen an Lichtsendern.- 8.4 Messungen an Lichtempfängern.- 8.5 Messung von Sender-Empfänger-Kombinationen.- 8.6 Literatur zu Kapitel 8.