Ion Implantation Techniques
Lectures given at the Ion Implantation School in Connection with Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques Berchtesgaden Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982
1982
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-11878-7 (ISBN)
Springer Berlin (Hersteller)
978-3-540-11878-7 (ISBN)
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| Zusatzinfo | 245 figs. XII,372 pages. |
|---|---|
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | englisch |
| Gewicht | 720 g |
| Einbandart | gebunden |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Technische Chemie |
| Technik | |
| ISBN-10 | 3-540-11878-0 / 3540118780 |
| ISBN-13 | 978-3-540-11878-7 / 9783540118787 |
| Zustand | Neuware |
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