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Scanning Electron Microscopy
Physics of Image Formation and Microanalysis
2020
|
3rd ed. 2021
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-85317-6 (ISBN)
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-85317-6 (ISBN)
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Scanning Electron Microscopy provides a description of the physics of electron-probe formation and of electron-specimen interactions. The different imaging and analytical modes using secondary and backscattered electrons, electron-beam-induced currents, X-ray and Auger electrons, electron channelling effects, and cathodoluminescence are discussed to evaluate specific contrasts and to obtain quantitative information.
Introduction.- Electron optics of a Scanning Electron Microscope.- Electron Scattering and Diffusion.- Emission of Backscattered and Secondary Electrons.- Electron Detectors and Spectrometers.- Image Contrast and Signal Processing.- Electron-Beam-Induced Current and Cathodoluminescence.- Special Techniques in SEM.- Crystal Structure Analysis by Diffraction.- Elemental Analysis and Imaging with X-Rays.-
Zusatzinfo | Approx. 510 p. 260 illus. |
---|---|
Verlagsort | Berlin |
Sprache | englisch |
Maße | 155 x 235 mm |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik |
Schlagworte | Rasterelektronenmikroskopie • Rasterelektronen Mikroskopie • Scanning Tunneling Microscopy |
ISBN-10 | 3-540-85317-0 / 3540853170 |
ISBN-13 | 978-3-540-85317-6 / 9783540853176 |
Zustand | Neuware |
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