Advanced Mechatronics and MEMS Devices (eBook)

Dan Zhang (Herausgeber)

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2012 | 2012
XII, 252 Seiten
Springer New York (Verlag)
978-1-4419-9985-6 (ISBN)

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Advanced Mechatronics and MEMS Devices -
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Advanced Mechatronics and MEMS Devicesdescribes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. The evolution of design in microfabrication, as well as emerging issues in nanomaterials, micromachining, micromanufacturing and microassembly are all discussed at length in this volume. Advanced Mechatronics also provides a reader with knowledge of MEMS sensors array, MEMS multidimensional accelerometer, artificial skin with imbedded tactile components, as well as other topics in MEMS sensors and transducers. The book also presents a number of topics in advanced robotics and an abundance of applications of MEMS in robotics, like reconfigurable modular snake robots, magnetic MEMS robots for drug delivery and flying robots with adjustable wings, to name a few.
Advanced Mechatronics and MEMS Devicesdescribes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. The evolution of design in microfabrication, as well as emerging issues in nanomaterials, micromachining, micromanufacturing and microassembly are all discussed at length in this volume. Advanced Mechatronics also provides a reader with knowledge of MEMS sensors array, MEMS multidimensional accelerometer, artificial skin with imbedded tactile components, as well as other topics in MEMS sensors and transducers. The book also presents a number of topics in advanced robotics and an abundance of applications of MEMS in robotics, like reconfigurable modular snake robots, magnetic MEMS robots for drug delivery and flying robots with adjustable wings, to name a few.

Development of a Silicon Based MEMS6-DoF-Force/Torque-Sensor.- Piezoelectrically Actuated Robotic End-effector with Strain Amplification Mechanisms.-  Autocalibration of MEMS Accelerometers.- Miniaturization of Micromanipulation Tools.- Digital Microrobotics Using MEMS Technology.- Flexure-based Parallel-Kinematics Stages for Passive Assembly of MEMS Optical Switches.- Micro-Tactile Sensors for Measurement of In-Vivo Young’s Modulus and Shear Modulus of Elasticity.- Devices and techniques for micro-gripping.- A Wall-climbing Robot with Biomimetic Adhesive Pedrail.- Development of Bio-inspired Artificial Sensory Cilia.- Jumping Like an Insect: from Bio-mimetic Inspiration to a Jumping Mini Robot Design.- Modeling and H∞ PID Plus Feedforward Controller Design for an Electrohydraulic Actuator (EHA) System. 

Erscheint lt. Verlag 14.9.2012
Reihe/Serie Microsystems
Microsystems
Zusatzinfo XII, 252 p.
Verlagsort New York
Sprache englisch
Themenwelt Medizin / Pharmazie Pflege
Medizin / Pharmazie Physiotherapie / Ergotherapie Orthopädie
Technik Bauwesen
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Medizintechnik
Schlagworte Mechatronic • MEMS • MEMS sensors • microsystems • Robotics
ISBN-10 1-4419-9985-X / 144199985X
ISBN-13 978-1-4419-9985-6 / 9781441999856
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