Piezoresistor Design and Applications (eBook)
XI, 245 Seiten
Springer New York (Verlag)
978-1-4614-8517-9 (ISBN)
Piezoresistor Design and Applications provides an overview of these MEMS devices and related physics. The text demonstrates how MEMS allows miniaturization and integration of sensing as well as efficient packaging and signal conditioning. This text for engineers working in MEMS design describes the piezoresistive phenomenon and optimization in several applications. Includes detailed discussion of such topics as; coupled models of mechanics, materials and electronic behavior in a variety of common geometric implementations including strain gages, beam bending, and membrane loading. The text concludes with an up-to-date discussion of the need for integrated MEMS design and opportunities to leverage new materials, processes and MEMS technology.
Piezoresistor Design and Applications is an ideal book for design engineers, process engineers and researchers.
Piezoresistor Design and Applications provides an overview of these MEMS devices and related physics. The text demonstrates how MEMS allows miniaturization and integration of sensing as well as efficient packaging and signal conditioning. This text for engineers working in MEMS design describes the piezoresistive phenomenon and optimization in several applications. Includes detailed discussion of such topics as; coupled models of mechanics, materials and electronic behavior in a variety of common geometric implementations including strain gages, beam bending, and membrane loading. The text concludes with an up-to-date discussion of the need for integrated MEMS design and opportunities to leverage new materials, processes and MEMS technology. Piezoresistor Design and Applications is an ideal book for design engineers, process engineers and researchers.
Introduction.- Piezoresistance fundamentals.- Sensitivity, noise and resolution.- Fabrication and process modeling.- Temperature effects.- Design optimization.- Alternative materials and transduction methods.- Appendix A Glossary of mathematical symbols.- Appendix B Ion implantation lookup tables.- Appendix C Code.
| Erscheint lt. Verlag | 30.10.2013 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Microsystems and Nanosystems |
| Zusatzinfo | XI, 245 p. 101 illus., 86 illus. in color. |
| Verlagsort | New York |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Mathematik / Informatik ► Informatik |
| Technik ► Bauwesen | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | Convective Heat Transfer • Design Optimization • Heat Transfer Fundamentals • ion implantation • Lateral Dopant Diffusion • Piezoresistance Fundamentals • Piezoresistivity • Piezoresistor Design • Piezoresistor Surface Damage • Thermomechanical Noise |
| ISBN-10 | 1-4614-8517-7 / 1461485177 |
| ISBN-13 | 978-1-4614-8517-9 / 9781461485179 |
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