Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen
Seiten
2006
|
1., Aufl.
AFO (Verlag)
978-3-9807462-2-9 (ISBN)
AFO (Verlag)
978-3-9807462-2-9 (ISBN)
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| Sprache | deutsch |
|---|---|
| Maße | 148 x 210 mm |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Elektrochemie • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Mikromechanik • Mikrosystemtechnik • Poröses Silizium • Thermischer Sensor |
| ISBN-10 | 3-9807462-2-4 / 3980746224 |
| ISBN-13 | 978-3-9807462-2-9 / 9783980746229 |
| Zustand | Neuware |
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