Polarization-Sensitive Speckle Interferometer for Roughness Measurement

The goal of this work is to develop a novel interferometric method for roughness measurement. Contrary to conventional approaches, the depolarization of the scattered light by the rough sample is considered, leading to a more accurate estimation of the roughness in the sub-wavelength domain and at the same time non-destructive and fast measurements. Compared to earlier works, the more general theory allows the application to other optical devices where depolarization of light occurs. Ziel dieser Arbeit ist, eine neue interferometrische Methode zur Rauheitsmessung zu entwickeln. Im Gegensatz zu herkömmlichen Ansätzen wird die Depolarisation des Streulichts durch die raue Probe berücksichtigt, was zu einer genaueren Schätzung der Rauheit im Sub-Wellenlängenbereich und zu zerstörungsfreien und schnellen Messungen führt. Verglichen mit früheren Arbeiten erlaubt die allgemeinere Theorie die Anwendung auf weitere optische Geräte, bei denen eine Depolarisierung des Lichts auftritt.