Radio-Frequency Capacitive Discharges - Yuri P. Raizer, Mikhail N. Shneider, Nikolai A. Yatsenko

Radio-Frequency Capacitive Discharges (eBook)

Yuri P. Raizer, Mikhail N. Shneider, Nikolai A. Yatsenko (Autoren)

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2017
304 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-1-351-41996-3 (ISBN)

The first publication of its kind in the field, this book describes comprehensively and systematically radio-frequency (rf) capacitive gas discharges of intermediate and low pressure and their application to gas laser excitation and to plasma processing. Text presents the physics underlying rf discharges along with techniques for obtaining such discharges, experimental methods and results, and theoretical and numerical modeling findings. Radio-Frequency Capacitive Discharges is written by well-known specialists in the field, authors of many theoretical and experimental works. They provide simple and clear discussions of complicated physical phenomena. A complete review on the state of the art is included. This interesting new book can be used as a textbook for students and postgraduates and as a comprehensive guidebook by specialists.

Erscheint lt. Verlag	14.12.2017
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Biologie
	Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Elektrodynamik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik
	Technik ► Maschinenbau
	Technik ► Nachrichtentechnik
ISBN-10	1-351-41996-X / 135141996X
ISBN-13	978-1-351-41996-3 / 9781351419963

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