Principles of Microelectromechanical Systems (eBook)
ki bang lee, PhD, is Director of KB Lab in Singapore. He has made numerous contributions in micro- and nano-electromechanical systems. From 2000 to 2004, Dr. Lee was a researcher at University of California, Berkeley. He worked for Samsung during 1987-2000, most recently holding the position of principal research scientist. He earned his PhD in mechanical engineering at Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST).
PREFACE.
1 INTRODUCTION.
1.1 Microelectromechanical Systems.
1.2 Coupled Systems.
1.3 Knowledge Required.
1.4 Dimensional Analysis.
Problems.
2 MICROFABRICATION.
2.1 Bulk and Surface Micromachining.
2.2 Lithography.
2.3 Layer Deposition.
2.4 Layer Etching.
2.5 Fabrication Process Design.
Problems.
3 STATICS.
3.1 Static Equilibrium.
3.2 Stress-Strain Relationship.
3.3 Thermal Stress.
3.4 Beam Behavior Subjected to a Torsional Moment.
3.5 Moment-Curvature Relationship.
3.6 Beam Equation.
3.7 Galerkin's Method.
3.8 Energy Method.
3.9 Energy Method for Beam Problems.
Problems.
4 STATIC BEHAVIOR OF MICROSTRUCTURES.
4.1 Elements of Microstructures.
4.2 Stiffness of Commonly Used Beams.
4.3 Trusses.
4.4 Stiffness Transformation.
4.5 Static Behavior of Planar Structures.
4.6 Residual Stress.
4.7 Cubic Force of Structures.
4.8 Potential Energy.
4.9 Analogy Between Potential Energies.
Problems.
5 DYNAMICS.
5.1 Cubic Equation.
5.2 Description of Motion.
5.3 Governing Equations of Dynamics.
5.4 Energy Conversion Between Potential and Kinetic Energy.
5.5 Free Vibration of Undamped Systems.
5.6 Vibration of Damped Systems.
5.7 Multidegree-of-freedom systems.
5.8 Continuous Systems.
5.9 Effective Mass, Damping, and Stiffness.
5.10 Systems with Repeated Structures.
5.11 Duffi ng's Equation.
Problems.
6 FLUID DYNAMICS.
6.1 Viscous Flow.
6.2 Continuity Equation.
6.3 Navier-Stokes Equation.
6.4 Reynolds Equation.
6.5 Couette Flow.
6.6 Oscillating Plate in a Fluid.
6.7 Creeping Flow.
6.8 Squeeze Film.
Problems.
7 ELECTROMAGNETICS.
7.1 Basic Elements of Electric Circuits.
7.2 Kirchhoff's Circuit Laws.
7.3 Electrostatics.
7.4 Force and Moment Due to an Electric Field.
7.5 Electrostatic Forces and Moments Acting
on Various Objects / 395
7.6 Electromagnetic Force / 410
7.7 Force Acting on a Moving Charge in Electric and
Magnetic Fields / 418
7.8 Piezoresistance.
7.9 Piezoelectricity.
Problems.
8 PIEZOELECTRIC AND THERMAL ACTUATORS.
8.1 Composite Beams.
8.2 Piezoelectric Actuators.
8.3 Thermal Actuators.
Problems.
9 ELECTROSTATIC AND ELECTROMAGNETIC ACTUATORS.
9.1 Electrostatic Actuators.
9.2 Comb Drive Actuator.
9.3 Parallel-Plate Actuator.
9.4 Torsional Actuator.
9.5 Fixed-Fixed Beam Actuator.
9.6 Cantilever Beam Actuator.
9.7 Dynamic Response of Gap-Closing Actuators.
9.8 Approximation of Gap-Closing Actuators.
9.9 Electromagnetic Actuators.
Problems.
10 SENSORS.
10.1 Force and Pressure Sensors.
10.2 Accelerometers.
10.3 Electrostatic Accelerometers.
10.4 Vibratory Gyroscopes.
10.5 Other Issues.
Problems.
APPENDIX.
REFERENCES.
INDEX.
"It is ideal for radio frequency/electronics/sensor specialists
who, for design purposes, would like to forego numerical nonlinear
mechanical simulations. The closed-form solution approach will also
appeal to device designers interested in performing large-scale
parametric analysis." (PCBDesign007, 22 February 2011)
Erscheint lt. Verlag | 21.3.2011 |
---|---|
Reihe/Serie | IEEE Press |
Wiley - IEEE | Wiley - IEEE |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | Approach • author • available • Beyond • blocks • Book • closedform • Design • Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • everything • Inkjet • Maschinenbau • Maschinenbau - Entwurf • mechanical engineering • Mechanical Engineering - Design • MEMS • Microelectromechanical Systems • phones • Principles • Printers • Problems • Solutions • Systems • Technology • texts • Unified |
ISBN-10 | 1-118-10224-X / 111810224X |
ISBN-13 | 978-1-118-10224-4 / 9781118102244 |
Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Größe: 12,8 MB
Kopierschutz: Adobe-DRM
Adobe-DRM ist ein Kopierschutz, der das eBook vor Mißbrauch schützen soll. Dabei wird das eBook bereits beim Download auf Ihre persönliche Adobe-ID autorisiert. Lesen können Sie das eBook dann nur auf den Geräten, welche ebenfalls auf Ihre Adobe-ID registriert sind.
Details zum Adobe-DRM
Dateiformat: PDF (Portable Document Format)
Mit einem festen Seitenlayout eignet sich die PDF besonders für Fachbücher mit Spalten, Tabellen und Abbildungen. Eine PDF kann auf fast allen Geräten angezeigt werden, ist aber für kleine Displays (Smartphone, eReader) nur eingeschränkt geeignet.
Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen eine
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen eine
Geräteliste und zusätzliche Hinweise
Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.
Größe: 23,3 MB
Kopierschutz: Adobe-DRM
Adobe-DRM ist ein Kopierschutz, der das eBook vor Mißbrauch schützen soll. Dabei wird das eBook bereits beim Download auf Ihre persönliche Adobe-ID autorisiert. Lesen können Sie das eBook dann nur auf den Geräten, welche ebenfalls auf Ihre Adobe-ID registriert sind.
Details zum Adobe-DRM
Dateiformat: EPUB (Electronic Publication)
EPUB ist ein offener Standard für eBooks und eignet sich besonders zur Darstellung von Belletristik und Sachbüchern. Der Fließtext wird dynamisch an die Display- und Schriftgröße angepasst. Auch für mobile Lesegeräte ist EPUB daher gut geeignet.
Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen eine
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen eine
Geräteliste und zusätzliche Hinweise
Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.
aus dem Bereich