Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs
Deutscher Universitätsverlag
978-3-8244-2091-9 (ISBN)
Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses.
Dr. Frank Schröder-Oeynhausen studierte Physik an der Universität zu Köln und Betriebswirtschaft an der FernUniversität Hagen. Er ist Technologieberater beim VDI in Düsseldorf.
1 Einleitung.- 1.1 Technologischer Stellenwert von III-V-Halbleitern.- 1.2 Anforderungen an die Oberfläche von GaAs-Wafern.- 1.3 Ziel der Arbeit.- 2 Materialkunde.- 2.1 Galliumarsenid (GaAs).- 2.2 Herstellung von GaAs-Wafern.- 3 Verwendete oberflächenanalytische Methoden.- 3.1 Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS).- 3.2 Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS).- 3.3 Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF).- 3.4 Ellipsometrie.- 4 Quantitativer Nachweis von Metallverunreinigungen auf GaAs.- 4.1 Herstellung von Standards.- 4.2 Identifikation metallischer Spurenelemente.- 4.3 Tiefenanalyse metallischer Spurenelemente.- 4.4 Quantitative Analyse metallischer Spurenelemente.- 5 Charakterisierung passivierender Oberflächenoxide auf GaAs.- 5.1 Oxidationsmechanismen.- 5.2 Signaturdaten für XPS, TOF-SIMS und Ellipsometrie.- 5.3 GaAs-Oberflächen nach Oxidation an Umgebungsluft.- 5.4 GaAs-Oberflächen nach Oxidation unter UV/Ozon-Einfluß.- 5.5 Vergleich der Oxidationsmechanismen.- 6 Zusammenfassende Diskussion.- 7 Literaturverzeichnis.
| Erscheint lt. Verlag | 23.9.1997 |
|---|---|
| Co-Autor | Frank Schröder-Oeynhausen |
| Zusatzinfo | 138 S. 51 Abb. |
| Verlagsort | Wiesbaden |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 193 g |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik | |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Wirtschaft ► Betriebswirtschaft / Management | |
| Schlagworte | Chemische Analyse • Elektronik • Galliumarsenide • Galliumverbindungen • Halbleiter • Kristall • Massenspektrometrie • Nanotechnologie • Oberflächenanalyse • Photoelektronenspektroskopie • Produktion • Spektrometrie • Vertrieb • Verunreinigung |
| ISBN-10 | 3-8244-2091-0 / 3824420910 |
| ISBN-13 | 978-3-8244-2091-9 / 9783824420919 |
| Zustand | Neuware |
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