Vacuum Technology (eBook)
X, 353 Seiten
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-74433-7 (ISBN)
In this book, Yoshimura provides a review of the UHV related development during the last decades. His very broad experience in the design enables him to present us this detailed reference. After a general description how to design UHV systems, he covers all important issue in detail, like pumps, outgasing, Gauges, and Electrodes for high voltages. Thus, this book serves as reference for everybody using UVH in scientific equipment.
Preface 5
Contents 7
Designing of Evacuation Systems 11
Vacuum Pumps 45
Simulation of Pressures in High- Vacuum Systems 95
Outgassing 132
Phenomena Induced by Electron Irradiation 184
Vacuum Gauges 213
Microdischarges in High Vacuum 272
Emitters for Fine Electron Probes 307
Index 351
| Erscheint lt. Verlag | 4.12.2007 |
|---|---|
| Zusatzinfo | X, 353 p. |
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Allgemeines / Lexika |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Astronomie / Astrophysik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | Design • Development • Discharges • Emitters • Gauges • nanotechnology • Outgasing • Pumps • Simulation • System Materials • UHV System |
| ISBN-10 | 3-540-74433-9 / 3540744339 |
| ISBN-13 | 978-3-540-74433-7 / 9783540744337 |
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