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Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge (eBook)

V. P. Savinov (Autor)

eBook Download: EPUB

2018
342 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-0-429-89422-0 (ISBN)

This book describes the physical mechanism of high-frequency (radio-frequency) capacitive discharge (RFCD) of low and medium pressure and the properties of discharge plasma in detail. The main properties and characteristics of RFCD, the features of electric breakdown in a high-frequency field are also investigated. The properties of near-electrode layers of a spatial discharge, the nature of the electric field in them, and the processes of charge transport to electrodes are explored. The work is intended for scientists engaged in gas discharge physics and low-temperature plasmas, graduate students and students of physics, physical chemistry, and relevant specialties.

Erscheint lt. Verlag	23.5.2018
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Angewandte Physik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Plasmaphysik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
ISBN-10	0-429-89422-8 / 0429894228
ISBN-13	978-0-429-89422-0 / 9780429894220

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