Synthese und Anwendung von mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung gewachsenen ZnO basierten II-VI Verbindungshalbleitern
Seiten
2013
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8440-2225-4 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8440-2225-4 (ISBN)
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Das Ziel dieser Arbeit ist die Herstellung von ZnO- und ZnMgO-Schichten und Nanostrukturen mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und deren Anwendung in elektrischen Komponenten. Für die Materialsynthese dienten Sauerstoff, DEZn und Cp 2 Mg als Präkursoren. Im einzelnen werden Zn(Mg)O Schichten/Nanostrukturen synthetisiert, charakterisiert und prozessiert. Hierauf aufbauend werden erfolgreich Dünnschichttransistoren, Gassensoren sowie Fotodetektoren realisiert.
Erscheint lt. Verlag | 3.10.2013 |
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Reihe/Serie | Berichte aus der Hochfrequenztechnik |
Sprache | deutsch |
Maße | 148 x 210 mm |
Gewicht | 312 g |
Einbandart | Paperback |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | Dünnschichttransistoren • Metallorganische Gasphasen-Abscheidung • MOCVD • Photolumineszenz • Zn(Mg)O |
ISBN-10 | 3-8440-2225-2 / 3844022252 |
ISBN-13 | 978-3-8440-2225-4 / 9783844022254 |
Zustand | Neuware |
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